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“姜主管,不要这么悲观,我们工程部会想办法提升减薄设备能力的!”谢剑风一边说,一边拍了一下姜华的肩膀。
减薄洁净室看上去面积差不多是键合车间的二十分之一,整个晶圆减薄研磨过程是在纯水中进行的,并不会产生可以耳闻的噪音。
虽然在FOL工程部已经工作了一年多了,辛佟却极少来这个洁净室,现在提拔为了项目经理,他就有机会接触到全工厂所有的生产工序。
体型高大的减薄机旁边摆放着一排氮气柜,氮气柜有温湿度监控装置,也有氮气流量监控装置,在高纯度的氮气养护下,储存于其中的已经开封和减薄完的晶圆得以完好无损。
虽然指定了专机生产,不过工艺验证的事情,辛佟觉得宜早不宜迟。
“谢谢!”辛佟说道。
“辛经理!”谢剑风朝着辛佟点了点头。
“好的,这个项目的晶圆,我们今后就锁定在3号机台生产!”辛佟用手拍着3号减薄机,眼睛里充满了深情。
这也是他梦寐以求的事情。
他正在减薄工序做目视化管理工作,看见辛佟走了进来,主动走过来打了一个招呼。
这一道工序的工程技术是由贵为FOL四大天王的增长天王谢剑风负责。
“谢工,咱们这些设备的工艺能力是多少?”辛佟开门见山地问道。
“3号减薄机台!”谢剑风想了想,指着身边的一台设备回答道。
倒是姜华常来这边,自从提升为FOL生产主管之后,他的领地扩大了不少,从晶圆减薄到键合,这些工序都划归给了他管辖。
还好自己下车间走了走,要是不了解设备的实际工艺能力,仓促上阵的话,这个项目一定会死得很惨!
安排好工作之后,辛佟感觉浑身轻松多了。
不过这也是一笔不菲的开支。
“谢工,目前减薄机性能最稳定的是哪几台?”辛佟问道。
通常来说,从Fab厂生产出来的晶圆都是采用真空包装的,以避免焊盘受到潮气氧化,从经验来讲,晶圆的FloorLife是一周时间,超过一周,焊盘存在氧化的风险,键合的质量就要大打折扣,储存于氮气柜中,可以延长晶圆的使用时间。
“谢工,姜主管,我们一起去看看晶圆切割工序吧!”辛佟说道。
“好的!”谢剑风点了点头。
三人就出了减薄洁净室,朝着晶圆切割区域走去。
今天来看,150um并不算什么了。
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